补充资料：电子级五氟化钽

分子式：TaF₅
CAS号：

性质：白色固体，有毒，在空气中会潮解，溶于水发出嗤声。沸点229℃。熔点97℃。其制法是采用高纯钽粉末直接氟化，反应产物经真空蒸馏，在-10℃收集纯度达99％的产品。五氟化钽在微电子工业中用作化学气相沉积硅化钽或钽膜，制作低电阻，高熔点的电路互连线和栅极。

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