1) tantalum halide
五卤化钽
1.
The effects for the choice of tantalum halide and Ta-containing metallorganic compound on the CVD process have been illustrated.
从前驱体的选择方面综述了化学气相沉积法制备Ta2O5薄膜的研究进展,说明了五卤化钽和Ta金属有机化合物对CVD过程的影响,对这两类前驱体的优缺点进行了比较和评述,讨论了Ta2O5的生成机理,并对其发展方向作了简要的展望。
2) Tantalum pentachloride
五氯化钽
3) tantalum pentaiodide
五碘化钽
4) tantalum pentafluoride
五氟化钽
5) tantalum pentabromide
五溴化钽
6) tantalic chloride
五氧化钽
补充资料：五氯化钽
分子式： TaCl5
CAS号：
性质：黄色玻璃状晶体或粉末。相对密度3.68(27℃)。熔点216℃。沸点242℃。溶于无水酒精、硫酸和氢氧化钾。化学性质不太稳定，遇水或在空气中水解逸出氯化氢气体，并生成五氧化二钽水合物沉淀。有毒!在氢气流中加热至600℃以上分解逸出氯化氢气体并生成金属钽。由氯气和钽反应制得。用作有机化合物的氯化剂、化学中间体及制备钽等。
CAS号：
性质：黄色玻璃状晶体或粉末。相对密度3.68(27℃)。熔点216℃。沸点242℃。溶于无水酒精、硫酸和氢氧化钾。化学性质不太稳定，遇水或在空气中水解逸出氯化氢气体，并生成五氧化二钽水合物沉淀。有毒!在氢气流中加热至600℃以上分解逸出氯化氢气体并生成金属钽。由氯气和钽反应制得。用作有机化合物的氯化剂、化学中间体及制备钽等。
说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。
参考词条