1) electronic grade arsenic trifluoride
电子级三氟化砷
2) electronic grade arsenic pentafluoride
电子级五氟化砷
3) electronic grade nitrogen trifluoride
电子级三氟化氮
4) electronic grade phosphorus trifluoride
电子级三氟化磷
5) arsenic trifluoride
三氟化砷
6) electronic grade trifluoromethane
电子级三氟甲烷
补充资料：电子级三氟化砷
分子式： AsF3
CAS号：
性质：常温下为无色油状不可燃液体，遇水即水解，生成三氧化二砷和氟化氢。一种极毒液体。TLV0.2mg/m3(以As计)。沸点63℃。熔点-8.5℃。其制法是用三氧化二铝和无水氟化氢反应，反应产物经冷却后添加10％(V)硫酸，进一步蒸馏，收集50～85℃的馏分，可获得99％以上的产品。三氟化砷在微电子工业中用作n型掺杂剂。
CAS号：
性质：常温下为无色油状不可燃液体，遇水即水解，生成三氧化二砷和氟化氢。一种极毒液体。TLV0.2mg/m3(以As计)。沸点63℃。熔点-8.5℃。其制法是用三氧化二铝和无水氟化氢反应，反应产物经冷却后添加10％(V)硫酸，进一步蒸馏，收集50～85℃的馏分，可获得99％以上的产品。三氟化砷在微电子工业中用作n型掺杂剂。
说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。
参考词条