1) electronic grade tungsten hexafluoride
电子级六氟化钨
2) electronic grade molybdenum hexafluoride
电子级六氟化钼
3) tungsten hexafluoride
六氟化钨
1.
The analytical method of high purity tungsten hexafluoride;
高纯六氟化钨的分析方法
2.
Analytical Method of Metal Granules in Tungsten Hexafluoride
六氟化钨中金属粒子的分析方法研究
3.
Analytical method of metal granules in tungsten hexafluoride
ICP-MS分析六氟化钨中的金属粒子
4) electronic grade hexafluoroethane
电子级六氟乙烷
5) high purity tungsten hexafluoride
高纯六氟化钨
6) electronic grade nitrogen trifluoride
电子级三氟化氮
补充资料：电子级六氟化钨
分子式：WF6
CAS号：
性质：常温下是无色、无臭、有毒气体。在大气压下，于17.1℃冷凝为淡黄色的液体，低于2℃时生成白色固体。是一种刺激性和腐蚀性很强的气体。TLV 1.0mg/m3。液体密度3441kg/m3(15℃)。沸点17.2℃。三相点2.0℃。其制法是采用高纯金属钨粉末直接氟化，在-80℃回收六氟化钨，经真空蒸馏(-10～10℃)，在低温下收集高纯六氟化钨产品。在微电子工业和材料加工改性中，六氟化钨用于离子注入或化学气相沉积硅化钨或钨膜，用以制作低电阻、离熔点的电路互连线和栅极，还有抗X射线或γ射线的保护罩，高效太阳能吸收器。
CAS号：
性质：常温下是无色、无臭、有毒气体。在大气压下，于17.1℃冷凝为淡黄色的液体，低于2℃时生成白色固体。是一种刺激性和腐蚀性很强的气体。TLV 1.0mg/m3。液体密度3441kg/m3(15℃)。沸点17.2℃。三相点2.0℃。其制法是采用高纯金属钨粉末直接氟化，在-80℃回收六氟化钨，经真空蒸馏(-10～10℃)，在低温下收集高纯六氟化钨产品。在微电子工业和材料加工改性中，六氟化钨用于离子注入或化学气相沉积硅化钨或钨膜，用以制作低电阻、离熔点的电路互连线和栅极，还有抗X射线或γ射线的保护罩，高效太阳能吸收器。
说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。
参考词条