1) tantalum pentabromide
五溴化钽
2) tantalic bromide,tantalum pentabromide
五溴化钽<冶>
3) tantalum tribromide,tantalous bromide
三溴化钽
4) tantalum bromide
溴化钽
5) Tantalum pentachloride
五氯化钽
6) tantalum halide
五卤化钽
1.
The effects for the choice of tantalum halide and Ta-containing metallorganic compound on the CVD process have been illustrated.
从前驱体的选择方面综述了化学气相沉积法制备Ta2O5薄膜的研究进展,说明了五卤化钽和Ta金属有机化合物对CVD过程的影响,对这两类前驱体的优缺点进行了比较和评述,讨论了Ta2O5的生成机理,并对其发展方向作了简要的展望。
补充资料：五溴化钽
分子式：TaBr5
CAS号：
性质：黄色晶体。斜方晶结构，晶格常数a=0.162nm。生成热-686.5kJ/mol。熔点265℃。沸点348.8℃。易水解。易被氢还原为低价溴化物，在180～200℃时生成四溴化钽，在250～280℃时生成三溴化钽。在450～475℃时由金属钽和气态溴或溴化氢反应生成，或在200℃下使五氧化二钽和四溴化碳反应生成。用于有机物合成和化学试剂。
CAS号：
性质：黄色晶体。斜方晶结构，晶格常数a=0.162nm。生成热-686.5kJ/mol。熔点265℃。沸点348.8℃。易水解。易被氢还原为低价溴化物，在180～200℃时生成四溴化钽，在250～280℃时生成三溴化钽。在450～475℃时由金属钽和气态溴或溴化氢反应生成，或在200℃下使五氧化二钽和四溴化碳反应生成。用于有机物合成和化学试剂。
说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。
参考词条