补充资料：电子级四氟化钛

分子式：  TiF₄
CAS号：

性质：白色固体，吸湿性很强，与水反应发出嗤声。属于有毒物质。熔点123.89℃。升华点284℃。其制法是采用高纯金属钛粉直接氟化，反应产物在280～290℃进行升华纯化，可获得纯度达99％的四氟化钛产品。四氟化钛在微电子工业中用作化学气相沉积或离子注入形成硅化钛或钛膜，制作低电阻、高熔点的电路互连线和栅极。

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