1) deep ultraviolet
深紫外
1.
Study on Ga_2O_3 deep ultraviolet transparent conductive films with Al nano-interlayer
纳米Al夹层Ga_2O_3深紫外透明导电膜的研究
2.
Optical properties of vacuum ultraviolet and deep ultraviolet region substrate materials
真空紫外到深紫外波段基底材料的光学特性
2) deep-ultraviolet
深紫外
1.
With the development of deep-ultraviolet(DUV) light sources,especially the excimer lasers,free-electron lasers,and solid-state lasers,the performance of DUV optical coatings have been improved rapidly.
随着准分子激光、自由电子激光以及全固态深紫外激光等深紫外激光光源的推广应用,近年来,深紫外波段光学薄膜技术得到了快速的发展。
4) DUV
深紫外綫
5) deep ultraviolet laser
深紫外光源
补充资料：深紫外光致抗蚀剂
分子式：
CAS号：
性质：利用波长为200～300nm的深紫外线进行光刻的抗蚀剂，由于波长短，可减少衍射效应，深紫色光刻的分辨率可达0.5μm，但实际分辨率约为1～1.5μm。说来利用辐射化学原理的电子束或X射线抗蚀剂均可用作深紫外抗蚀剂。
CAS号：
性质：利用波长为200～300nm的深紫外线进行光刻的抗蚀剂，由于波长短，可减少衍射效应，深紫色光刻的分辨率可达0.5μm，但实际分辨率约为1～1.5μm。说来利用辐射化学原理的电子束或X射线抗蚀剂均可用作深紫外抗蚀剂。
说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。
参考词条