1) electronic grade arsenic pentafluoride
电子级五氟化砷
2) electronic grade arsenic trifluoride
电子级三氟化砷
3) electronic grade phosphorus pentafluoride
电子级五氟化磷
4) electronic grade tantalum pentafluoride
电子级五氟化钽
5) arsenic pentafluoride
五氟化砷
6) electronic grade arsine
电子级砷烷
补充资料：电子级五氟化砷
分子式：AsF5
CAS号：
性质：无色、剧毒气体。沸点-52.8℃。熔点-79.8℃。液体密度2330kg/m3(-52.8℃)。可采用三氧化二砷直接氟化工艺制取粗五氟化砷，经蒸馏提纯可得到纯度为99.0％的产品。五氟化砷在微电子工业中用作离子注入气。
CAS号：
性质：无色、剧毒气体。沸点-52.8℃。熔点-79.8℃。液体密度2330kg/m3(-52.8℃)。可采用三氧化二砷直接氟化工艺制取粗五氟化砷，经蒸馏提纯可得到纯度为99.0％的产品。五氟化砷在微电子工业中用作离子注入气。
说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。
参考词条