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1)  high purity titanium tetrafluoride
高纯四氟化钛
2)  high purity silicon tetrafluoide
高纯四氟化硅
3)  silicon tetrachloride
高纯四氟化碳
4)  titanium tetrafluoride
四氟化钛
5)  High-Purity Lithium Fluoride
高纯氟化锂
6)  hydrogen fluoride
高纯氟化氢
补充资料:四氟化钛
分子式: TiF4
CAS号:

性质:纯度>99%。无色疏松粉末。吸湿性很强。熔点123.89℃。升华温度284℃。密度2.798g/ml。以钛粉直接氟化或将四氯化钛与无水氟化氢作用均可制得纯度99%以上产品,或500℃下三氟化硼和二氧化钛反应或氟化钡钛热分解制备。用于制取钛火石玻璃。在微电子工业中用作化学气相淀积硅化钛,以生产低电阻、高熔点的互连线。

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