1) electronic grade hexafluoroethane
电子级六氟乙烷
2) R116
六氟乙烷
3) electronic grade molybdenum hexafluoride
电子级六氟化钼
4) electronic grade tungsten hexafluoride
电子级六氟化钨
5) electronic grade octafluoropropane
电子级全氟丙烷
6) electronic grade trifluoromethane
电子级三氟甲烷
补充资料：电子级六氟乙烷
分子式：C2F6
CAS号：
性质：别名氟碳116。无色，不可燃气体。化学性质不活泼，但与可燃气体一同燃烧时，分解产生有毒的氟化物。沸点-78.2℃。熔点-100.6℃。其制法是采用活性炭直接氟化工艺路线：C+F2CF4+C2F6+C3F8+…，反应产物经过除尘、碱洗、脱水后进入低温精馏塔进行间歇精馏，提取六氟乙烷，经低温吸附提纯，可制取纯六氟乙烷。在微电子工业中用作等离子刻蚀气体，器件表面清洗，光纤生产，低温制冷剂。
CAS号：
性质：别名氟碳116。无色，不可燃气体。化学性质不活泼，但与可燃气体一同燃烧时，分解产生有毒的氟化物。沸点-78.2℃。熔点-100.6℃。其制法是采用活性炭直接氟化工艺路线：C+F2CF4+C2F6+C3F8+…，反应产物经过除尘、碱洗、脱水后进入低温精馏塔进行间歇精馏，提取六氟乙烷，经低温吸附提纯，可制取纯六氟乙烷。在微电子工业中用作等离子刻蚀气体，器件表面清洗，光纤生产，低温制冷剂。
说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。
参考词条