1) electronic grade arsine
电子级砷烷
2) electronic grade arsenic trifluoride
电子级三氟化砷
3) electronic grade arsenic pentafluoride
电子级五氟化砷
4) electronic grade silane
电子级硅烷
5) electronic grade germane
电子级锗烷
6) electronic grade phosphine
电子级磷烷
补充资料：电子级砷烷
分子式：AsH3
CAS号：
性质：又称砷化三氢。无色、剧毒、可燃气体。气体密度3.24kg/m3(20℃)；液体密度1339kg/m3(20℃)，1259kg/m3(40.6℃)。沸点-62.5℃。熔点-116.9℃。在空气中可燃限4.5％～64％(体积)。有大蒜气味。是一种溶血性毒物，可使神经中毒。微溶于水和有机溶剂，易与高锰酸钾、溴和次氯酸钠等溶剂起反应，生成砷的化合物。在室温下稳定，于230～240℃下开始分解。TLV0.05×10-6(0.2mg/m3)。采用金属砷与锌反应生成锌化砷(As2Zn3)，As2Zn3再与硫酸反应制得粗砷烷，经多级吸附纯化可制得高纯砷烷产品。砷烷用于半导体工业中外延硅的n型掺杂；硅中n型扩散；离子注入；生长砷化镓(GaAs)、磷砷化镓(GaAsP)以及与III/V族元素形成化合物半导体。
CAS号：
性质：又称砷化三氢。无色、剧毒、可燃气体。气体密度3.24kg/m3(20℃)；液体密度1339kg/m3(20℃)，1259kg/m3(40.6℃)。沸点-62.5℃。熔点-116.9℃。在空气中可燃限4.5％～64％(体积)。有大蒜气味。是一种溶血性毒物，可使神经中毒。微溶于水和有机溶剂，易与高锰酸钾、溴和次氯酸钠等溶剂起反应，生成砷的化合物。在室温下稳定，于230～240℃下开始分解。TLV0.05×10-6(0.2mg/m3)。采用金属砷与锌反应生成锌化砷(As2Zn3)，As2Zn3再与硫酸反应制得粗砷烷，经多级吸附纯化可制得高纯砷烷产品。砷烷用于半导体工业中外延硅的n型掺杂；硅中n型扩散；离子注入；生长砷化镓(GaAs)、磷砷化镓(GaAsP)以及与III/V族元素形成化合物半导体。
说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。
参考词条