2) high frequency sputtering equipment
高频溅射设备
3) RF sputtering
射频溅射
1.
Influence of target self-bias in inverted cylindrical RF sputtering on the microstructure and electrical properties of Ba_(0.65)Sr_(0.35)TiO_3 thin films;
倒筒式射频溅射自偏压对Ba_(0.65)Sr_(0.35)TiO_3热释电薄膜结构及性能的影响
2.
Study of 3C-SiC and 4H-SiC films deposited using RF sputtering method;
射频溅射法制备3C-SiC和4H-SiC薄膜
3.
Nanocrystalline TiO_2 thin films were prepared by reactive RF sputtering, then the samples were treated by Ar radio frequency plasma.
用反应射频溅射法在导电玻璃上制备TiO2薄膜,并用Ar射频等离子体对TiO2薄膜进行处理。
4) radio frequency sputtering
射频溅射
1.
Preparation of cubic boron nitride films by radio frequency sputtering;
用射频溅射法制备立方氮化硼薄膜
5) RF magnetron sputtering
射频溅射
1.
Methods SiC films were prepared on glass substrates by RF magnetron sputtering and then annealed in a vacuum annealing system.
方法用射频溅射法在玻璃衬底上制备SiC薄膜,退火处理后并利用光致发光谱(PL)对发光性能进行分析。
6) RF sputter
射频溅射
1.
Y 2O 2S∶Eu cathodoluminescent thin films have been grown on yttrium aluminum garnet substrates by RF sputtering with sintered Y 2O 2S∶Eu phosphor as a target.
在钇铝石榴石单晶基片上用射频溅射法制取了Y2 O2 S∶Eu红色发光薄膜。
2.
ZnS·Ag cathodoluminescent thin films have been grown on yttrium aluminum garnet substrates by RF sputtering with sintered ZnS·Ag phosphor as a target.
用烧结ZnS·Ag蓝色荧光粉靶在钇铝柘榴石单晶基片上射频溅射制取了ZnS·Ag蓝色发光薄膜。
3.
The c\|BN thin films were deposited on different substrates with hot\|filament\|assisted plasma CVD and RF sputter.
还用13 5 6MHz的射频溅射系统将c BN薄膜沉积在Si衬底上 ,靶材为h BN(纯度 99 99% ) ,溅射气体为氩气和氮气的混合气体 ,所得到的氮化硼薄膜中立方相含量高于 90 % 。
补充资料：甚高频和超高频多普勒雷达
工作在30～3000兆赫频段的气象多普勒雷达。一般具有很高的探测灵敏度。因探测高度范围可达1～100公里，所以又称为中层-平流层-对流层雷达 (MST radar)。它主要用于探测晴空大气的风、大气湍流和大气稳定度（见大气静力稳定度）等大气动力学参数的铅直分布。
原理 这类雷达通过以下几类电磁波和大气的相互作用,对晴空大气进行探测:①由大气湍流运动引起的折射率不均匀结构对电磁波的散射；②稳定大气分层结构对入射电磁波的部分反射；③有时出现于中层大气的自由电子对电磁波的散射；④中层大气中的流星余迹散射。散射体积内空气的运动，使雷达回波具有多普勒频偏。
结构 MST 雷达的结构和气象多普勒雷达大致相同。其特点在于：它们一般配备了大型天线（天线阵），有些甚高频段雷达的天线阵，尺度达 30～200米，采用半波振子阵或八木天线振子阵，以相控方式实现波束扫描。超高频段雷达采用直径几十米的可动抛物面天线，这类雷达的发射功率在几百千瓦至 2兆瓦之间，发射功率和天线面积的乘积值在106～1010瓦·米2之间。此外，为获得高灵敏度和高空间分辨率，在脉冲发射体制和回波数据处理方面，也采取一些技术措施。
用途 利用回波的多普勒频谱可以进行下述各项测量：①探测大气风场的铅直分布。同一仰角，空间分辨率约为 150～1000米，采用脉冲压缩技术后，分辨率已可达到15米。②探测大气湍流结构。可以给出平均折射率湍流结构常数(C厒)的铅直分布。再引入一些大气湍流模式后，可以推算出湍流耗散率的铅直分布。③探测对流层顶高度及逆温层的高度和厚度。目前，甚高频和超高频多普勒雷达还只能测定上述气象要素的铅直廓线及其时间变化，而不能给出三维空间分布资料。
参考书目
K.S.Gage，B.B.Balsley,Doppler Radar Probing of the Clear Atmosphere,Bulletin of American MeteorologicalSociety,Vol.59，No.9，pp.1074～1093，1978.
原理 这类雷达通过以下几类电磁波和大气的相互作用,对晴空大气进行探测:①由大气湍流运动引起的折射率不均匀结构对电磁波的散射；②稳定大气分层结构对入射电磁波的部分反射；③有时出现于中层大气的自由电子对电磁波的散射；④中层大气中的流星余迹散射。散射体积内空气的运动，使雷达回波具有多普勒频偏。
结构 MST 雷达的结构和气象多普勒雷达大致相同。其特点在于：它们一般配备了大型天线（天线阵），有些甚高频段雷达的天线阵，尺度达 30～200米，采用半波振子阵或八木天线振子阵，以相控方式实现波束扫描。超高频段雷达采用直径几十米的可动抛物面天线，这类雷达的发射功率在几百千瓦至 2兆瓦之间，发射功率和天线面积的乘积值在106～1010瓦·米2之间。此外，为获得高灵敏度和高空间分辨率，在脉冲发射体制和回波数据处理方面，也采取一些技术措施。
用途 利用回波的多普勒频谱可以进行下述各项测量：①探测大气风场的铅直分布。同一仰角，空间分辨率约为 150～1000米，采用脉冲压缩技术后，分辨率已可达到15米。②探测大气湍流结构。可以给出平均折射率湍流结构常数(C厒)的铅直分布。再引入一些大气湍流模式后，可以推算出湍流耗散率的铅直分布。③探测对流层顶高度及逆温层的高度和厚度。目前，甚高频和超高频多普勒雷达还只能测定上述气象要素的铅直廓线及其时间变化，而不能给出三维空间分布资料。
参考书目
K.S.Gage，B.B.Balsley,Doppler Radar Probing of the Clear Atmosphere,Bulletin of American MeteorologicalSociety,Vol.59，No.9，pp.1074～1093，1978.
说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。
参考词条