补充资料：电子级甲硅烷

分子式： SiH₄ 
CAS号：

性质：无色、极活泼压缩气体，在空气中自燃。气体密度1.44kg/m3(0℃，101.3kPa)；液体密度711kg/m3(-185℃)。沸点-112℃。熔点-184.7℃。具有令人窒息的气味。与空气混合后形成爆炸混合气。与重金属卤化物和游离卤素激烈反应；加热到约400℃开始分解成非晶态硅和氢，于600℃以上即以晶态硅的形式分解出来。TLV 5×10-6(7mg/m3)。国外大都采用氢化锂铝法生产硅烷；也有用硅化镁法，即硅化镁与工业氯化铵在液氨介质中反应即生成硅烷，经-80℃下的冷凝提纯和4A，5A分子筛的深度提纯可制得高纯硅烷。硅烷广泛用于外延沉积单晶硅膜和生产多晶硅膜、二氧化硅膜以及氮化硅膜；在玻璃工业中，用于制造单向透明的茶色玻璃；还可用于制造非晶硅太阳电池，复印机的光敏部件等。

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