1) electronic grade trichlorosilane
电子级三氯氢硅
2) electronic grade dichlorosilane
电子级二氯二氢硅
3) trichlorosilane
三氯氢硅
1.
Harness of tail gas of trichlorosilane synthesis furnace;
三氯氢硅合成炉尾气的治理
2.
The Fire Danger and Countermeasure of Trichlorosilane Prodoction;
三氯氢硅生产的火灾危险性及对策
3.
Production technology of trichlorosilane and its market;
三氯氢硅生产技术及市场
4) electronic grade silicon tetrachloride
电子级四氯化硅
5) trichlorosilane method
三氯氢硅法
6) electronic grade phosphorus trichloride
电子级三氯化磷
补充资料：电子级三氯氢硅
分子式：SiHCl3
CAS号：
性质： 无色可燃，腐蚀性液体，有令人窒息的臭味。在湿空气中迅速水解生成氯化氢。沸点31.9℃。熔点-126.5℃。液体密度1340kg/m3。在空气中的可燃限6.9％～70％。闪点-28.0℃。TLV(按HCl)5×10-6。其制法是以工业级三氯氢硅为原料，精馏提纯。三氯氢硅在半导体芯片和其他元件的制造中用作化学气相淀积的硅源。
CAS号：
性质： 无色可燃，腐蚀性液体，有令人窒息的臭味。在湿空气中迅速水解生成氯化氢。沸点31.9℃。熔点-126.5℃。液体密度1340kg/m3。在空气中的可燃限6.9％～70％。闪点-28.0℃。TLV(按HCl)5×10-6。其制法是以工业级三氯氢硅为原料，精馏提纯。三氯氢硅在半导体芯片和其他元件的制造中用作化学气相淀积的硅源。
说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。
参考词条