1) electronic grade hydrogen selenide
电子级硒烷
2) electronic grade silane
电子级硅烷
3) electronic grade germane
电子级锗烷
4) electronic grade phosphine
电子级磷烷
5) electronic grade arsine
电子级砷烷
6) electronic grade silane
电子级甲硅烷
补充资料：电子级硒烷
分子式：H2Se
CAS号：
性质：无色气体，有令人不愉快的臭气味。沸点-42.0℃。熔点-65.9℃。相对密度ds(21.1℃，空气=1)2.8。可溶于水。在潮湿空气中可分解出元素硒。与氧化剂接触时极易引起火灾。剧毒。TLV0.05×10-6(0.2mg/m3)。引起中毒的主要途径为吸入，接触。其制法是采用硒与氢在高温和有催化剂条件下直接合成，粗产品经冷凝，蒸馏提纯。硒烷与氢或惰性气体混合，用作III-V族和II-VI族工艺的n型掺杂剂，在各种半导体工艺中用作元素硒源。
CAS号：
性质：无色气体，有令人不愉快的臭气味。沸点-42.0℃。熔点-65.9℃。相对密度ds(21.1℃，空气=1)2.8。可溶于水。在潮湿空气中可分解出元素硒。与氧化剂接触时极易引起火灾。剧毒。TLV0.05×10-6(0.2mg/m3)。引起中毒的主要途径为吸入，接触。其制法是采用硒与氢在高温和有催化剂条件下直接合成，粗产品经冷凝，蒸馏提纯。硒烷与氢或惰性气体混合，用作III-V族和II-VI族工艺的n型掺杂剂，在各种半导体工艺中用作元素硒源。
说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。
参考词条