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1)  single crystal SiGe
单晶锗硅薄膜
2)  a-SiGe:H(F)film
非晶硅锗薄膜
3)  microcrystalline silicon germanium thin film
微晶硅锗薄膜
4)  poly-SiGe thin films
锗硅薄膜
5)  SiGe film
硅锗薄膜
6)  single crystal silicon film
单晶硅薄膜
1.
Therefore, a new scheme for thermal conductivity simulation of nanometer single crystal silicon films is.
本文分析了经典分子动力学(Molecular Dynamics)技术在模拟厚度在纳米量级的单晶硅薄膜平行于薄膜平面方向的热导率时出现的用难,指出精确计算薄膜表面附近处的原子运动状态对于单晶硅纳米薄膜面向热导率的分子动力学模拟具有重要意义,并在此基础上提出采用基于分子动力学和预处理共轭梯度法(Preconditioned conjugate Gradients)的Ab Initio方案模拟面向热导率。
2.
The thermal conductivity of single crystal silicon films in the direction along the film plane is investigated by the non-equilibrium molecular dynamics (NEMD) method.
采用非平衡分子动力学方法(NEMD)研究了室温(300 K)下厚度为2~32 nm的单晶硅薄膜的沿膜平面方向的热导率,并使用Debye-Einstein模型对模拟温度进行了量子修正。
补充资料:直径6英寸硅单晶及单晶炉


直径6英寸硅单晶及单晶炉


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