2) Cr-Cu-N film
铬-铜-氮薄膜
1.
Cr-Cu-N films were deposited using low energy ion beam assisted magnetron sputtering (IBAMS).
应用低能离子束辅助磁控溅射(IBAMS)沉积铬-铜-氮薄膜,研究了铜含量和轰击能量对薄膜结构、硬度和断裂韧度的影响。
3) Chromium oxide coating
氧化铬薄膜
1.
Chromium oxide coatings were deposited by radio frequency reactive magnetron sputtering.
本论文采用射频反应磁控溅射方法制备了氧化铬硬质薄膜,利用X射线、X光电子能谱(XPS)、扫描电镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)、透射电镜(TEM)研究了氧化铬薄膜微观结构及生长机理,并综合利用纳米力学测试系统、UMT显微力学测试系统研究了薄膜的微观结构与力学性能之间的相关性。
4) silicon nitride film
氮化硅薄膜
1.
Microfabrication of silicon nitride film applied in microsensor;
微型传感器中氮化硅薄膜的微加工技术
2.
The structure and the property of amorphous silicon nitride film formed by direct current-plasma chemical vapour deposition (DC-PCVD) were analyzed.
对用直流等离子体化学气相沉积(DC—PCVD)法得到的非晶态氮化硅薄膜结构与性能进行了研究。
3.
0eV laser excitation, six luminescence emission bands of LPCVD silicon nitride film were observed corresponding to 2.
０ｅＶ的激光激发下，在室温下ＬＰＣＶＤ氮化硅薄膜可发射高强度可见荧光，其峰位位置分别为２。
5) ZrN thin film
氮化锆薄膜
1.
A chromatic prediction model was developed by artificial neural network through analyzing the relationship between the technological parameters for ZrN thin film preparation and relevant chromatic parameters.
建立了氮化锆薄膜制备工艺参数与薄膜色度参数之间的人工神经网络预测模型,结果表明,预测结果与实测结果吻合,最大色差在5。
6) silicon nitride thin film
氮化硅薄膜
1.
As a kind of mufti- functional materials, silicon nitride thin film is widely used in many fields.
氮化硅薄膜是一种多功能材料,在许多领域有着广泛的应用。
2.
In order to study preparation process and PL mechanism of silicon nitride thin films,the nc-Si(nanocrystalline Si)embedded in silicon nitride thin films were prepared by RF magnetron reaction sputtering technique and thermal annealing.
为研究氮化硅薄膜发光材料的制备工艺及其光致发光机制,实验采用射频磁控反应溅射技术与热退火处理制备了纳米硅镶嵌氮化硅薄膜材料。
3.
In the manufacture of microelectronic materials and devices, silicon nitride thin film is used as passivating film, insulation layer and diffusion mask.
氮化硅薄膜是一种多功能材料,在许多领域有着广泛的运用:在微电子材料及器件生产中,氮化硅作为钝化膜、绝缘层和扩散掩膜;硅基太阳能电池中,氮化硅用作钝化膜和减反射膜;在硅基发光材料中作为硅纳米团簇的包埋母体等等。
补充资料：氮化铬
分子式：CrN
CAS号：
性质：常用作薄膜涂层。具有高的硬度和良好的耐磨性，是一种很受重视的耐磨涂层。用空心阴极离子镀制备的氮化铬膜具有Cr+Cr2N两相组织，晶粒度为20～70nm，硬度为HV22GPa。经真空退火后，能提高到HV35.4GPa。其耐磨性优于CrC膜。反应溅射法氮化铬膜能得到Cr+Cr2N或单相CrN两种组织，其硬度均在HV20～25GPa(块体CrN硬度HV11GPa)。
CAS号：
性质：常用作薄膜涂层。具有高的硬度和良好的耐磨性，是一种很受重视的耐磨涂层。用空心阴极离子镀制备的氮化铬膜具有Cr+Cr2N两相组织，晶粒度为20～70nm，硬度为HV22GPa。经真空退火后，能提高到HV35.4GPa。其耐磨性优于CrC膜。反应溅射法氮化铬膜能得到Cr+Cr2N或单相CrN两种组织，其硬度均在HV20～25GPa(块体CrN硬度HV11GPa)。
说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。
参考词条