1)  deep UV resist
深紫外光致抗蚀剂
2)  deep UV photoresist
深紫外光致抗蚀剂
3)  deep UV
深紫外
1.
The investigations on violet and deep UV nonlinear optical crystals over the last decade,including successes and failures,are discussed in this paper.
本文讨论了近 10年来我们研究组在探索紫外、深紫外非线性光学晶体方面的经历。
4)  deep UV
深紫外光
5)  DUV
深紫外綫
6)  Viola atroviolacea
深紫堇菜
参考词条
补充资料：深紫外光致抗蚀剂
分子式：
CAS号：

性质：利用波长为200～300nm的深紫外线进行光刻的抗蚀剂，由于波长短，可减少衍射效应，深紫色光刻的分辨率可达0.5μm，但实际分辨率约为1～1.5μm。说来利用辐射化学原理的电子束或X射线抗蚀剂均可用作深紫外抗蚀剂。

说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。