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1)  Sputtering Al films
溅射铝膜
2)  MoS2 sputtered films
MoS2溅射膜
1.
The oxidation resistance properties of MoS2 sputtered films doping Sb2O3/Au have been studied by X ray photoelectron spectrometry(XPS).
利用 X射线光电子能谱仪 (XPS)对 MoS2溅射膜掺杂 Sb2O3/Au的抗氧化性能进行了研究。
3)  sputtering coating
溅射镀膜
1.
Application of robotic system in sputtering coating system;
机器人系统在溅射镀膜设备中的应用
2.
The combination of vacuum sputtering coating technology and chemical coating technology is launched to prepare electromagnetic shielding textiles,the principle of electromagnetic shielding is discussed.
试验表明,等离子体前处理、真空溅射镀膜、化学镀膜等多种技术的复合,能获得镀膜坚牢、宽频(1~18 GHz)和高效能(≥90 dB)的电磁屏蔽织物。
4)  MoS2-sputtered film
MoS_2溅射膜
5)  sputtering Cu film
溅射铜膜
6)  Sputter foil
溅射成膜
补充资料:溅射
分子式:
CAS号:

性质:以荷能粒子(常用气体正离子)轰击某种材料的靶面,而使靶材表面的原子或分子从中逸出的现象。利用它可使他种基体材料表面获得金属、合金或电介质薄膜。常见的有阴极溅射(直流溅射)、反应溅射、偏压溅射及射频溅射等,种类颇多。溅射薄膜通常是在惰性气体(如氩)的等离子体中制取。采用溅射工艺具有基体温度低,薄膜质纯,组织均匀密实,牢固性和重现性好等优点。适用于制造薄膜集成电路、片式引线器件和半导体器件等用。

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