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1)  step and scan projection aligner
步进扫描投影对准曝光器
2)  scanning projection aligner
扫描型投影对准曝光器
3)  stepping projection aligner
步进式投影对准曝光器
4)  projection aligner
投影对准曝光器
5)  scanning projection printing
扫描式投影曝光
6)  step-and-scan lithography
步进扫描投影光刻
1.
Exposure dose control for step-and-scan lithography;
步进扫描投影光刻机中的曝光剂量控制技术研究
补充资料：投影光刻
分子式：
CAS号：

性质：一种把图像投影在光敏材料上的方法。它可免于光学掩模版和光敏材料涂层的接触。

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参考词条