1) step and scan projection aligner

步进扫描投影对准曝光器
2) scanning projection aligner

扫描型投影对准曝光器
3) stepping projection aligner

步进式投影对准曝光器
4) projection aligner

投影对准曝光器
5) scanning projection printing

扫描式投影曝光
6) step-and-scan lithography

步进扫描投影光刻
1.
Exposure dose control for step-and-scan lithography;

步进扫描投影光刻机中的曝光剂量控制技术研究
补充资料:投影光刻
分子式:
CAS号:
性质:一种把图像投影在光敏材料上的方法。它可免于光学掩模版和光敏材料涂层的接触。
CAS号:
性质:一种把图像投影在光敏材料上的方法。它可免于光学掩模版和光敏材料涂层的接触。
说明:补充资料仅用于学习参考,请勿用于其它任何用途。
参考词条