1) synchronized scanning projection
同步扫描投影
3) step-and-scan lithography
步进扫描投影光刻
1.
Exposure dose control for step-and-scan lithography;
步进扫描投影光刻机中的曝光剂量控制技术研究
4) step-and-scan lithography system
步进扫描投影光刻机
1.
Recent progress in technology of wafer stage and reticle stage used in step-and-scan lithography system is introduced, and the overlay accuracy and the accuracy of the overall system are analyzed.
着重介绍了当前国外步进扫描投影光刻机的工件台和掩模台的发展状况,并对套刻精度和整机精度进行了分析。
5) Synchronous scanning
同步扫描
1.
Based on the beam spread and the point spread functions, the quantitative relationships of imaging distance and imaging quality with target distance,receiver field angle, facula size and light power in ordinary sea water medium for synchronous scanning underwater laser imaging system are calculated.
利用光束扩展函数和点扩展函数，计算了在一般海水介质中，同步扫描水下激光成像系统，成像距离和成像质量与目标距离、接收视场角、光斑的大小和光功率等参数之间的数量关系。
6) synchro scanning
扫描同步
1.
Design of laser TV image store and synchro scanning control system;
本文实现了一种适用于激光电视显示技术的扫描同步控制电路。
补充资料：滤波反投影或卷积反投影
滤波反投影或卷积反投影
影像学术语。当代影像学设备进行影像重建的数学方法。在直接用扫描后所获得的投影轨迹剖面图反投影重建出的CT图像中，无法避免角度卷入条纹伪影(angular aliasing streaks)造成的模糊和失真。这种现象与被扫描层面的空间频率中高频信息的损失有关。使用一种精密的数学方法去除这种模糊。称为“展现”(unfolding)或去卷积(deconvolution)，即在反投影前使用一种数学的“滤器”或卷积函数对原始数据进行修正，然后再进行反投影。两步数学处理过程合称为滤波(修正后)反投影或卷积(后)反投影。这种方法的优点是处理过程简单，速度快，所得图像逼真、清晰。
说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。
参考词条