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1)  deep uv projection aligner
远紫外线投影曝光对准器
2)  uv projection printing
紫外线投影曝光
3)  projection aligner
投影对准曝光器
4)  deep uv exposure
远紫外线曝光
5)  lens projection aligner
透镜投影对准曝光器
6)  mirror projection aligner
镜面投影对准曝光器
补充资料:投影光刻
分子式:
CAS号:

性质:一种把图像投影在光敏材料上的方法。它可免于光学掩模版和光敏材料涂层的接触。

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参考词条