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1)  wafer stepper projection system
薄片的步进式投影曝光装置
2)  projection stepper
步进式投影曝光装置
3)  stepping projection aligner
步进式投影对准曝光器
4)  direct step on wafer
薄片上步进式直接曝光
5)  projector [英][prə'dʒektə(r)]  [美][prə'dʒɛktɚ]
投影式对准曝光装置
6)  reduction aligner
收缩式投影曝光装置
补充资料:光点曝光表

光点曝光表

spot meter

类似在反射光式曝光表上组装了望远镜头,曝光表的受光角仅1-3度,精度极高,对于不能靠近测光时,效果较大。

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参考词条