1) process,sputter etch
溅镀蚀刻工艺
2) process,argon sputter etch
氩气溅镀蚀刻工艺
3) sputter etch process
溅镀蚀刻过程
4) Dong's Iron Plating Technique
董氏无刻蚀镀铁工艺
5) etching process
刻蚀工艺
1.
This paper introduces the mechanism and classify of etching,etching process combining with the semiconductor production.
本文对半导体生产中刻蚀的原理、分类,结合生产实际对刻蚀工艺进行了较系统的论述,并介绍了随着硅片尺寸的增大,工艺线条进入亚微米级时代,相应刻蚀设备的发展趋势。
补充资料：董氏砖雕墓
在山西侯马市西北郊基建工地发现，1959年和1969年，分别迁于山西考古研究所侯马工作站院内。墓主人一名董海，一名董明，先后于金明昌七年（1196年）和大安二年（1210年）埋葬。均为仿木构砖雕墓，平面皆方形。董海墓为前后两室，系我国北方地区传统的四合院形制。结构复杂，比例适当，磨砖对缝，手法严谨，墓室内壁雕刻有翎毛花卉，八仙人物，戏剧故事以及飞马、奔鹿、走狮等动物，琳琅满目，华丽似锦，具有很高的建筑与雕刻艺术价值。董明墓的北壁，砌有一座小戏台及生、末、净、旦、丑五个戏俑，生动活泼，维妙维肖，是我国早期戏剧表演艺术的再现，为研究宋金戏剧提供了宝贵的资料。
说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。
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