1) silicon deep etching process
硅深刻蚀工艺
1.
Making method of high deep-width rate, batch production of planar windings with LIGA process and silicon deep etching process is researched .
较深入地研究了以LIGA工艺、硅深刻蚀工艺为主的平面绕阻的高深宽比、批量化制作方法。
2) Deepetching Process
深层刻蚀工艺
4) Deep silicon etching
深硅刻蚀
5) etching process
刻蚀工艺
1.
This paper introduces the mechanism and classify of etching,etching process combining with the semiconductor production.
本文对半导体生产中刻蚀的原理、分类,结合生产实际对刻蚀工艺进行了较系统的论述,并介绍了随着硅片尺寸的增大,工艺线条进入亚微米级时代,相应刻蚀设备的发展趋势。
补充资料：工艺缓蚀剂
分子式：
CAS号：
性质： 用于抑制特殊性生产过程中物料腐蚀的缓蚀剂，例如石油炼制用缓蚀剂、化工产品生产用缓蚀剂等。应具备经济有效、不污染产品或不影响产品技术指标等性能。
CAS号：
性质： 用于抑制特殊性生产过程中物料腐蚀的缓蚀剂，例如石油炼制用缓蚀剂、化工产品生产用缓蚀剂等。应具备经济有效、不污染产品或不影响产品技术指标等性能。
说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。
参考词条