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1)  tantalum nitride resistor
氮化钽膜电阻器
2)  tantalum nitride resistance film
氮化钽电阻薄膜
3)  tantalum nitride resistor
氮化钽电阻器
4)  TaN film
氮化钽薄膜
5)  tantalum silicon resistance film
钽硅电阻薄膜
6)  tantalum aluminium resistance film
钽铝电阻薄膜
补充资料:氮化钽
分子式:
CAS号:

性质: 暗灰色粉末。六方晶结构,晶格常数α=0.518nm。密度14.36g/cm3。熔点3090℃,电阻率(180±10) μΩ·cm。显微硬度(106±75)MPa,超导转变温度1.2K。耐酸性能好,不溶于硝酸、盐酸和氟氢酸,易被硫酸和硝酸和过氧化氢混合液氧化。易和碳化钽生成类质同晶混合物,和氮化铪、碳化铪互溶。在1400℃以上真空中加热易分解。与氢氧化钾作用分解放出氨。由五氯化钽和氨气反应或700~1000℃下使钽粉和氮气反应生成。冶金中利用氮化钽分解制取高纯钽粉。利用其电阻温度小的特点制造电阻薄膜器件。

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