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1)  tantalum nitride
一氮化钽
2)  TaON
氮氧化钽
3)  ditantalum nitride
二钽化氮
4)  tantalum nitride TaN
氮化钽
5)  TaN film
氮化钽薄膜
6)  tantalum carbo-nitride
碳氮化钽<冶>
补充资料:氮化钽
分子式:
CAS号:

性质: 暗灰色粉末。六方晶结构,晶格常数α=0.518nm。密度14.36g/cm3。熔点3090℃,电阻率(180±10) μΩ·cm。显微硬度(106±75)MPa,超导转变温度1.2K。耐酸性能好,不溶于硝酸、盐酸和氟氢酸,易被硫酸和硝酸和过氧化氢混合液氧化。易和碳化钽生成类质同晶混合物,和氮化铪、碳化铪互溶。在1400℃以上真空中加热易分解。与氢氧化钾作用分解放出氨。由五氯化钽和氨气反应或700~1000℃下使钽粉和氮气反应生成。冶金中利用氮化钽分解制取高纯钽粉。利用其电阻温度小的特点制造电阻薄膜器件。

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参考词条