1) ditantalum nitride
二钽化氮
2) TaON
氮氧化钽
3) tantalum nitride TaN
氮化钽
4) tantalum nitride
一氮化钽
5) TaN film
氮化钽薄膜
6) tantalum carbo-nitride
碳氮化钽<冶>
补充资料：二钽化氮
分子式：Ta2N
CAS号：
性质：黑灰色粉末。六方晶结构，晶格常数α=0.304nm，c=0.490nm。密度15.78～15～86g/cm3。电阻率(220±15)Ωμ·cm，显微硬度(122±12)MPa，超导转变温度较高为9.5K。采用化学气相沉积法或磁控溅射工艺法制取。为良好超导材料，用于制作超导薄膜器件。
CAS号：
性质：黑灰色粉末。六方晶结构，晶格常数α=0.304nm，c=0.490nm。密度15.78～15～86g/cm3。电阻率(220±15)Ωμ·cm，显微硬度(122±12)MPa，超导转变温度较高为9.5K。采用化学气相沉积法或磁控溅射工艺法制取。为良好超导材料，用于制作超导薄膜器件。
说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。
参考词条