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1)  optical wafer stepping
步进式晶片曝光
2)  optical wafer stepper
步进式晶片曝光机
3)  die by die printing
步进式芯片曝光
4)  direct step on wafer
薄片上步进式直接曝光
5)  step printing
步进式曝光
6)  optical stepper lithography
步进式曝光蚀刻
补充资料:同步
1.同时起步,协调一致。 2.物理学名词。两个或几个随时间变化的量,在变化过程中保持一定的相对关系。
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参考词条