1) stepping projection aligner
步进式投影对准曝光器
2) step and scan projection aligner
步进扫描投影对准曝光器
3) projection aligner
投影对准曝光器
5) projector
[英][prə'dʒektə(r)] [美][prə'dʒɛktɚ]
投影式对准曝光装置
6) lens projection aligner
透镜投影对准曝光器
参考词条