补充资料：接触式光刻

分子式：
CAS号：

性质：一种原始的复制工艺。将光学掩模版图形面与待光刻区域光致抗蚀剂(或感光乳胶)表面接触而曝光。

说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。