1) GaAs epitaxial wafer
砷化镓外延片
3) gallium arsenide epitaxy material
砷化镓外延材料
4) GaP epitaxial wafer
磷化镓外延片
5) gallium-arsenide optical filter
砷化镓滤光片
6) ELO GaN
侧向外延氮化镓
补充资料:砷化镓外延片
分子式:
CAS号:
性质:在特定晶向[(100)或(100)偏向最近<110>2 ~5 的晶面]砷化镓衬底上外延生长的单晶薄层材料外延工艺有LPE、VPE、MOCVD、MBE、CBE、ALE等工业选择取决于器件结构等因素,一般LPE、VPE多用于商品化器件,如光探测器、霍尔器件等。MBE、CBE、ALE多用于最子阱超晶格材料。MOCVD两方面兼而有之。
CAS号:
性质:在特定晶向[(100)或(100)偏向最近<110>2 ~5 的晶面]砷化镓衬底上外延生长的单晶薄层材料外延工艺有LPE、VPE、MOCVD、MBE、CBE、ALE等工业选择取决于器件结构等因素,一般LPE、VPE多用于商品化器件,如光探测器、霍尔器件等。MBE、CBE、ALE多用于最子阱超晶格材料。MOCVD两方面兼而有之。
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参考词条