1) electronic grade disilane
电子级乙硅烷
2) electronic grade silane
电子级硅烷
3) electronic grade silane
电子级甲硅烷
4) electronic grade hexafluoroethane
电子级六氟乙烷
5) electronic grade diborane
电子级乙硼烷
6) electronic grade germane
电子级锗烷
补充资料：电子级乙硅烷
分子式：Si2H6
CAS号：
性质：非腐蚀性有毒气体，在空气中自燃，室温下缓慢分解成甲硅烷和氢。相对密度(液体)0.69。沸点-14.3℃。熔点-132.6℃。其制法是以甲硅烷为原料，经辉光放电后聚合生成高级硅烷，用液氮冷却回收，采用低温精馏法除杂质。乙硅烷可用于制造太阳能电池和电子照相用的感光鼓。在半导体工业中用于外延和扩散工艺。
CAS号：
性质：非腐蚀性有毒气体，在空气中自燃，室温下缓慢分解成甲硅烷和氢。相对密度(液体)0.69。沸点-14.3℃。熔点-132.6℃。其制法是以甲硅烷为原料，经辉光放电后聚合生成高级硅烷，用液氮冷却回收，采用低温精馏法除杂质。乙硅烷可用于制造太阳能电池和电子照相用的感光鼓。在半导体工业中用于外延和扩散工艺。
说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。
参考词条