补充资料：远紫外光感光树脂

分子式：
CAS号：

性质：指对深紫外光敏感的感光树脂。深紫外光指波长在250nm左右的光线，能量较高，因此可供选择的树脂较多；目前使用较多的是丙烯酸酯衍生物，或者聚砜类树脂。光的波长较短，作为光刻胶有利于提高分辨率。但是对环境和使用的透光材料有较高要求，因此使用的仪器设备复杂昂贵。根据吸收光后发生光降解或光交联，也可以分成正性和负性深紫外感光树脂。

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