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1)  bulk silicon MEMS
体硅MEMS
2)  CMOS-MEMS bulk gyroscope
CMOS-MEMS体硅陀螺
3)  bulk-silicon MEMS process
体硅MEMS加工工艺
4)  Silicon MEMS
硅MEMS
例句>>
5)  silicon-based MEMS
硅基MEMS
例句>>
6)  Mems Silicon Microphone
MEMS硅微麦克风
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补充资料：氮化硅纤维增强体(见氮化硅纤维)


氮化硅纤维增强体(见氮化硅纤维)
silicon nitride fibres reinforcements

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