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1)  hydrogenated microcrystalline silicon
氢化微晶硅
2)  microcrystalline hydrogenated silicon
微晶氢化硅
3)  hydrogenated microcrystalline silicon films
氢化微晶硅薄膜
1.
Preparation and characterization of hydrogenated microcrystalline silicon films by HW-MWECR-CVD;
HW-MWECR-CVD法制备氢化微晶硅薄膜及其微结构研究
4)  μc-Si:H thin films
氢化微晶硅(μc-SiH)薄膜
5)  p-type hydrogenated microcrystalline silicon thin films
p型氢化微晶硅薄膜
6)  hydrogenated microcrystalline silicon-germanium
氢化微晶硅锗薄膜
补充资料:氢化非晶硅(amorphousSi:H)
氢化非晶硅(amorphousSi:H)

含有大量硅氢键的非晶硅称为氢化非晶硅即a-Si:H或非晶硅氢合金,a-Si:H中含氢量达3~50。a-Si:H通常采用辉光放电法或溅射法制备,其电导及光电性质密切依赖于制备条件。a-Si:H中的氢能够补偿非晶硅中大量存在的悬挂键,使其缺陷态密度大大降低,从而导致a-Si:H具有显著的掺杂效应,电导率可改变约10个量级。a-Si:H具有比晶体硅更高的光电导响应,光电导与暗电导比值可达104~105。a-Si:H的光学带隙约1.7eV,对整个太阳光谱的吸收系数大于104cm-1,1μm厚的a-Si:H薄膜可以实现对太阳光谱的完全吸收,因此它成为廉价太阳电池的基础材料。a-Si:H的另一重要用途是用a-Si:H制作的薄膜场效应管作为液晶显示屏的开关矩阵。

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