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1)  piezoelectric acceleration sensor
压电式加速度传感器
1.
The theory and method of vibration testing system with piezoelectric acceleration sensor is introduced, the defect of signal recording with optical oscillotron is analysed.
介绍了压电式加速度传感器测振系统的原理与方法 ,分析了光线示波器记录信号的不足之处 ,并提出了采用单片机系统进行数字化改进的方法 ,给出了测量结果。
2)  piezoresistive acceleration sensor
压阻式加速度传感器
1.
Construction of mathematical model between non-contact detecting system for life parameters and piezoresistive acceleration sensor;
非接触生命参数检测系统-压阻式加速度传感器数学模型的建立
3)  piezoresistive accelerometer
压阻式加速度传感器
1.
MEMS high g piezoresistive accelerometer is one of the key of that MEMS technology is applied on inertial measurement and control in the course of the fuze penetration.
论文选择压阻式加速度传感器作为研究对象,首先建立结构的力学模型,在此基础上进行了结构的应力分析、频率分析及阻尼分析,从而完成结构参数的优化及确定,并利用simulink对已确定的结构进行二阶系统分析,包括正弦函数输入响应和冲击函数输入响应。
4)  micro-piezoresistive accelerometer
微压阻式加速度传感器
5)  piezoelectric accelerometer
压电加速度传感器
1.
Calibration sensitivity of piezoelectric accelerometer output under varying environmental temperature;
变温环境下压电加速度传感器输出灵敏度校正
2.
Research on modeling method of piezoelectric accelerometer;
压电加速度传感器的建模方法研究
3.
Research on calculating natural frequency of piezoelectric accelerometer;
压电加速度传感器的固有频率计算方法研究
6)  capacitive accelerometer
电容式加速度传感器
1.
Non-linear calibration technology of capacitive accelerometer for angle measurement;
用电容式加速度传感器进行角度测量的非线性标定技术
2.
Design of capacitive accelerometer for environment vibration measurement;
环境振动测量电容式加速度传感器设计
3.
This paper presents a capacitive accelerometer fabricated by 3 silicon wafers bonded together.
提出了一种利用体微机械加工技术制作的硅三层键合电容式加速度传感器。
补充资料:压电式传感器
      基于压电效应的传感器。是一种自发电式和机电转换式传感器。它的敏感元件由压电材料制成。压电材料受力后表面产生电荷。此电荷经电荷放大器和测量电路放大和变换阻抗后就成为正比于所受外力的电量输出。压电式传感器用于测量力和能变换为力的非电物理量,如压力、加速度等(见压电式压力传感器、加速度计)。它的优点是频带宽、灵敏度高、信噪比高、结构简单、工作可靠和重量轻等。缺点是某些压电材料需要防潮措施,而且输出的直流响应差,需要采用高输入阻抗电路或电荷放大器来克服这一缺陷。配套仪表和低噪声、小电容、高绝缘电阻电缆的出现,使压电传感器的使用更为方便。它广泛应用于工程力学、生物医学、电声学等技术领域。
  
  压电效应  压电效应可分为正压电效应和逆压电效应。正压电效应是指:当晶体受到某固定方向外力的作用时,内部就产生电极化现象,同时在某两个表面上产生符号相反的电荷;当外力撤去后,晶体又恢复到不带电的状态;当外力作用方向改变时,电荷的极性也随之改变;晶体受力所产生的电荷量与外力的大小成正比。压电式传感器大多是利用正压电效应制成的。逆压电效应是指对晶体施加交变电场引起晶体机械变形的现象,又称电致伸缩效应。用逆压电效应制造的变送器可用于电声和超声工程。压电敏感元件的受力变形有厚度变形型、长度变形型、体积变形型、厚度切变型、平面切变型 5种基本形式(见图)。压电晶体是各向异性的,并非所有晶体都能在这 5种状态下产生压电效应。例如石英晶体就没有体积变形压电效应,但具有良好的厚度变形和长度变形压电效应。
  
  压电材料  它可分为压电单晶、压电多晶和有机压电材料。压电式传感器中用得最多的是属于压电多晶的各类压电陶瓷和压电单晶中的石英晶体。其他压电单晶还有适用于高温辐射环境的铌酸锂以及钽酸锂、镓酸锂、锗酸铋等。压电陶瓷有属于二元系的钛酸钡陶瓷、锆钛酸铅系列陶瓷、铌酸盐系列陶瓷和属于三元系的铌镁酸铅陶瓷。压电陶瓷的优点是烧制方便、易成型、耐湿、耐高温。缺点是具有热释电性,会对力学量测量造成干扰。有机压电材料有聚二氟乙烯、聚氟乙烯、尼龙等十余种高分子材料。有机压电材料可大量生产和制成较大的面积,它与空气的声阻匹配具有独特的优越性,是很有发展潜力的新型电声材料。60年代以来发现了同时具有半导体特性和压电特性的晶体,如硫化锌、氧化锌、硫化钙等。利用这种材料可以制成集敏感元件和电子线路于一体的新型压电传感器,很有发展前途。
  
  参考书目
   袁希光主编:《传感器技术手册》,国防工业出版社,北京,1986。
  

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