1) resonant microaccelerometer
谐振式微加速度传感器
1.
FEA(finite element analysis) is used to evaluate a novel designed resonant microaccelerometer.
有限元分析用来评估一种新颖的谐振微加速度传感器,仔细分析新结构的几个主要振动模态,优化结构参数,证实这种硅基谐振式微加速度传感器的灵敏度高于1 000 Hz/gn。
2) resonant accelerator
谐振式加速度传感器
3) thermally driven resonant microaccelerometer
电热驱动谐振式微加速度传感器
4) micromechanical Silicon oscillating accelerometer
硅微振梁式加速度传感器
6) micro acceleration sensor array
阵列式加速度微传感器
1.
On the basis of an available design of 105g micro acceleration sensor array layout, the modal frequency and structure dynamic response of a silicon-cantilever-beam are analyzed using the finite element method and relevant software.
在已有105g压阻效应阵列式加速度微传感器版图设计的基础上,应用有限元理论及相关软件,对版图中的硅微悬臂梁进行了模态分析和结构动态计算。
补充资料：加速度传感器
加速度传感器
acceleration transducer
i廊川u chual勺anqi加速度传感器(accele耐ontr田lsducer)输出t与输人加速度成正比的测振传感器，也称加速度计。压电式和压阻式加速度传感器一般用于结构部件上的振动和冲击测量，允许误差均为1%一5%。应变式加速度传感器一般用于弯曲模态结构振动测量，允乙计式许误差为0.5%一2%。力平衡(伺服)式和电仁振动、加速度传感器通常用于大型结构件或建筑物的毛差为地展及环境振动测量，其中力平衡式的允许愁彦)0.1%一1%，电位计式的为1%一3%。(施昌
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参考词条