1) tunneling-based acceleration sensor
隧道式加速度传感器
1.
The principle, structure and key technology of tunneling-based acceleration sensor are presented.
隧道式加速度传感器具有高的灵敏度而被用来测试微小加速度，介绍了扭摆－隧道式加速度传感器的工作原理，结构特点，关键工艺及工艺制备的结果。
2) tunneling acceleration sensor
隧道加速度传感器
1.
This paper makes a feature of piezoresistive,capacitive and tunneling acceleration sensors.
比较了压阻式、电容式和隧道式加速度传感器的特点 ,提出了扭摆式隧道加速度传感器的结构 ,给出了工作原理和设计模型 ,最后给出了结构尺寸、版图总图及试制的芯片照片。
3) piezoresistive acceleration sensor
压阻式加速度传感器
1.
Construction of mathematical model between non-contact detecting system for life parameters and piezoresistive acceleration sensor;
非接触生命参数检测系统-压阻式加速度传感器数学模型的建立
4) piezoelectric acceleration sensor
压电式加速度传感器
1.
The theory and method of vibration testing system with piezoelectric acceleration sensor is introduced, the defect of signal recording with optical oscillotron is analysed.
介绍了压电式加速度传感器测振系统的原理与方法 ,分析了光线示波器记录信号的不足之处 ,并提出了采用单片机系统进行数字化改进的方法 ,给出了测量结果。
5) Flow Acceleration Sensor
气流式加速度传感器
1.
The Study of the Flow Acceleration Sensor;
气流式加速度传感器性能的研究
6) capacitive accelerometer
电容式加速度传感器
1.
Non-linear calibration technology of capacitive accelerometer for angle measurement;
用电容式加速度传感器进行角度测量的非线性标定技术
2.
Design of capacitive accelerometer for environment vibration measurement;
环境振动测量电容式加速度传感器设计
3.
This paper presents a capacitive accelerometer fabricated by 3 silicon wafers bonded together.
提出了一种利用体微机械加工技术制作的硅三层键合电容式加速度传感器。
补充资料：加速度传感器
加速度传感器
acceleration transducer
i廊川u chual勺anqi加速度传感器(accele耐ontr田lsducer)输出t与输人加速度成正比的测振传感器，也称加速度计。压电式和压阻式加速度传感器一般用于结构部件上的振动和冲击测量，允许误差均为1%一5%。应变式加速度传感器一般用于弯曲模态结构振动测量，允乙计式许误差为0.5%一2%。力平衡(伺服)式和电仁振动、加速度传感器通常用于大型结构件或建筑物的毛差为地展及环境振动测量，其中力平衡式的允许愁彦)0.1%一1%，电位计式的为1%一3%。(施昌
说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。
参考词条