2) silicon capacitive accelerometer
微硅电容加速度传感器
1.
This paper aims at designing a relaxation oscillator which is used in the readout circuits for silicon capacitive accelerometers with CMOS process.
采用CMOS工艺设计出应用在微硅电容加速度传感器单片测试电路中的弛张振荡器即是本文的主要研究目的。
3) capacitive accelerometer
电容式加速度传感器
1.
Non-linear calibration technology of capacitive accelerometer for angle measurement;
用电容式加速度传感器进行角度测量的非线性标定技术
2.
Design of capacitive accelerometer for environment vibration measurement;
环境振动测量电容式加速度传感器设计
3.
This paper presents a capacitive accelerometer fabricated by 3 silicon wafers bonded together.
提出了一种利用体微机械加工技术制作的硅三层键合电容式加速度传感器。
5) mercury capacitance acceleration transducer
水银电容加速度传感器
6) resonant microaccelerometer
谐振式微加速度传感器
1.
FEA(finite element analysis) is used to evaluate a novel designed resonant microaccelerometer.
有限元分析用来评估一种新颖的谐振微加速度传感器,仔细分析新结构的几个主要振动模态,优化结构参数,证实这种硅基谐振式微加速度传感器的灵敏度高于1 000 Hz/gn。
补充资料：加速度传感器
加速度传感器
acceleration transducer
i廊川u chual勺anqi加速度传感器(accele耐ontr田lsducer)输出t与输人加速度成正比的测振传感器，也称加速度计。压电式和压阻式加速度传感器一般用于结构部件上的振动和冲击测量，允许误差均为1%一5%。应变式加速度传感器一般用于弯曲模态结构振动测量，允乙计式许误差为0.5%一2%。力平衡(伺服)式和电仁振动、加速度传感器通常用于大型结构件或建筑物的毛差为地展及环境振动测量，其中力平衡式的允许愁彦)0.1%一1%，电位计式的为1%一3%。(施昌
说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。
参考词条