1)  UV LIGA
UV LIGA
2)  UV-LIGA
UV-LIGA
1.
Implementation of Eddy Current Sensor Using UV-LIGA Technology;
基于UV-LIGA技术的电涡流传感器研制
2.
Fabrication of nickel soft contact microprobe based on UV-LIGA;
UV-LIGA技术制备微型柔性镍接触探针
3.
Experimental Research on Fabrication of Micro-structures & Micro-devices by UV-LIGA;
基于UV-LIGA技术制造微结构器件试验研究
3)  UV LIGA
UV-LIGA
4)  UV-LIGA process
UV-LIGA工艺
1.
In order to fabricate the multiple electrodes, it's necessary to use the metal substrate to fabricate the ultra-thick SU-8 microstructures in the UV-LIGA process.
以金属为基底,采用UV-LIGA工艺来制作微细群电极,改进了前烘、后烘、显影等工艺参数,分别在铜和不锈钢基底上通过注射式倒胶的方法制作出厚度达1 mm的SU-8胶结构,最大深宽比达10∶1,并通过微细电铸,获得了铜微细电极。
5)  UV-LIGA
UV-LIGA技术
1.
Prime study of an electromagnetic microrelay fabricated by UV-LIGA technology;
UV-LIGA技术制造微型电磁继电器的初步研究
2.
The bi-layer micro gears have been fabricated by UV-LIGA technique using SU-8 photoresist.
利用SU-8光刻胶UV-LIGA技术制备了双层微齿轮,齿轮单层的厚度可达450μm。
3.
Process parameters of SU-8 photoresist based UV-LIGA technique were optimized.
对基于SU-8胶的UV-LIGA技术进行了工艺优化,研究了光源波长和曝光时间对SU-8胶成型的影响。
6)  UV-LIGA technology
UV-LIGA技术
1.
A bistable electromagnetic RF MEMS switch based on UV-LIGA technology was described.
介绍了一种基于UV-LIGA加工技术的双稳态电磁型RF MEMS开关,该结构由于使用了永磁体单元而使得开关在维持“开”或“关”态时不需要功耗,利用牺牲层UV-LIGA技术实现了开关的微制作。
参考词条
补充资料：Absorbent UV-1577
分子式：C27H27N3O2
分子量：425.52
CAS号：147315-50-2

性质：熔点147-151°C。

说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。