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1) Quasi-LIGA Technology
准LIGA技术
2) LIGA/UV-LIGA Technology
LIGA/UV-LIGA技术
3) LIGA technology
LIGA技术
1.
Being the key of LIGA /quasi-LIGA technology,microelectroforming process has wide applications in all kinds of MEMS fields.
微电铸是相对于常规电铸工艺而确立的新概念,它是适用于微小结构成型而建立的批量加工技术,既可以看作是在微细加工模具基础上的传统电铸技术的延伸,也可以认为是掩膜电镀在高深宽比方向发展的结果,微电铸工艺是LIGA/准LIGA技术的核心内容,在MEMS技术领域有广泛应用。
2.
Emphasis is given to indicate that LIGA technology as a typical lithography will play a very important role in the future development of micromold manufacture technology.
介绍了微型制件及微型模具成形特点 ,全面分析了各种微细加工方法的技术特点及其在微型模具制造中的应用状况 ,同时分析了各种微细加工技术的适用范围与发展前景 ,并重点阐述了以LIGA技术为代表的光加工技术在未来微型模具制造技术发展中的重要作
4) LIGA
LIGA技术
1.
Optimal process of micro-EDM based on LIGA technique;
基于LIGA技术的微细电火花加工优化研究
2.
ComPuter Aided Graphical Design of X Ray Mask in LIGA Fabrication of Micro gear;
LIGA技术制造微齿轮中X光掩模板图形的CAD设计
3.
An investigation on MEMS has developed with high speed in the last years,and foundation of MEMS is microfabrication technology In accordance with imperfection of LIGA,A new UV-LIGA is presented in the paper We have manufactured the equipment for lithography of UV-LIGA The design pionts,solved key unit techniques in research,the results of experimentation are reviewe
针对电铸 (LIGA)技术所存在的缺点提出了紫外光电铸(UV -LIGA)技术 ,并研制了用于UV -LIGA技术的光刻设备。
5) UV-LIGA
UV-LIGA技术
1.
Prime study of an electromagnetic microrelay fabricated by UV-LIGA technology;
UV-LIGA技术制造微型电磁继电器的初步研究
2.
The bi-layer micro gears have been fabricated by UV-LIGA technique using SU-8 photoresist.
利用SU-8光刻胶UV-LIGA技术制备了双层微齿轮,齿轮单层的厚度可达450μm。
3.
Process parameters of SU-8 photoresist based UV-LIGA technique were optimized.
对基于SU-8胶的UV-LIGA技术进行了工艺优化,研究了光源波长和曝光时间对SU-8胶成型的影响。
6) LIGA technique
LIGA技术
1.
The copper tool electrode with line width of 70μm and thickness of 730μm has been made by the LIGA technique and then the microstructure with line width 90μm and complex shapes on the stainless steel film has been machined by the micro-EDM technique.
通过LIGA技术与微细电火花技术相结合 ,可以在硬质合金、不锈钢等材料上加工出微结构 ,这一新的方法必将拓宽微细加工的能力和应用范围。
2.
A kind of microreactor for catalytic reaction has been developed by LIGA technique.
介绍了微反应器的基本原理 ,根据化学反应传质和传热的需求 ,对反应微管道的几何形状和尺寸进行了初步设计 ,并利用LIGA技术制作完成了一种用于催化反应的微反应器。
3.
The principle of LIGA techniques and the parameters o f LIGA experimental station at NSRL are introduced.
LIGA技术是一种可以利用多种材料获得大高宽比微结构的微细加工方法。
补充资料:RP技术和基于RP技术的RT技术
摘要:介绍了快速成形技术的原理和几种典型成形方法。同时,还介绍了基于快速成形技术的快速模具技术在模具制造业中的应用,以及快速成形技术的现状和发展趋势。 关键词:快速成形;快速模具;直接快速制模;间接快速制模。 引言 快速成形(Rapid Prototyping , RP.)技术,也叫快速原型技术,20世纪80年代后期起源于美国。该技术是一种集计算机辅助设计、机械、数控、检测、激光技术和材料学等为一体的先进制造技术。传统的制造方法是基于材料去除的概念,而 RP 技术突破了这种工艺方法,它是一种“使材料生长”的制造过程,是一种全新的制造技术,所以被誉为是近20年来制造技术领域的一项重大突破。 RP技术 1、原理 RP 技术是基于离散/堆积的原理。在计算机的控制下快速成型机的成形头选择性地固化一层层的液体材料(或选择性的切割一层层的纸、烧结一层层的粉末材料、喷涂一层层的热熔性材料等),形成各个截面轮廓并逐步顺序叠加成三维工件实体。其工艺步骤为: (1)切片 把三维CAD模型转化为快速原型系统能够接受的数据格式,运用切片软件将模型切成一系列指定厚度的薄片。 (2)扫描 通过数控装置控制激光或其他作业装置,在当前工作层上扫描出切片的截面形状。 (3)进给 把工作台沿着某一方向下降每次成形厚度那样一个距离。重复上一步骤和本步骤,直到工件完全成形。 (4)后处理 根据不同应用场合的需要,分别对零件进行后固化、上漆、烧结、渗铜等处理。 2、类型 目前RP的方法有几十种,但商品化较好的主要有:光固化立体成形(Stereo Lithogra- phy Apparatus, SLA)、分层实体制造(Laminated Objected Manufacturing ,LOM)、选择性激光烧结(Selected Laser Sintering , SLS)、熔融沉积造型(Fused Deposition Modeling , FDM)、三维印刷(Three Dimensional Printing , TDP)等。另外,很有潜力的激光气相沉积(Laser Vapor Deposition , LVP)法正在试验之中。 (1)SLA SLA法是出现最早,技术最成熟和应用最广泛的RP 技术,由美国的3D Systems 公司推出。SLA法是用激光束按照截面轮廓的形状,沿液态光敏树脂的表面进行扫描来固化光敏树脂,从而成形工件。工件的表面质量较好,尺寸精度较高(相对于其他RP 方法),可确保工件的尺寸精度在0.1mm以内,但树脂会因吸收空气中的水分而收缩、弯曲、卷翘,产生应力,适合成形中小型工件。
说明:补充资料仅用于学习参考,请勿用于其它任何用途。
参考词条
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