1) Laser-LIGA
Laser-LIGA
1.
The Laser-LIGA technology provided.
本文首次提出采用紫外激光作为曝光光源的Laser-LIGA技术,对SU-8胶进行曝光光刻不仅成本低、易推广,而且具有大幅度提高光刻深宽比的潜力。
2) laser-LIGA
激光-LIGA技术
补充资料:laser-emission microanalysis
分子式:
CAS号:
性质: 以钕玻璃类的脉冲激光照射试样,使0.1mm2范围内的样品分解蒸发,而后以分光仪测定实际发出的光谱,是一种元素分析的方法。由于有强的发光,样品蒸发的同时伴有火花放电产生。
CAS号:
性质: 以钕玻璃类的脉冲激光照射试样,使0.1mm2范围内的样品分解蒸发,而后以分光仪测定实际发出的光谱,是一种元素分析的方法。由于有强的发光,样品蒸发的同时伴有火花放电产生。
说明:补充资料仅用于学习参考,请勿用于其它任何用途。