1) laser-LIGA
激光-LIGA技术
2) LIGA/UV-LIGA Technology
LIGA/UV-LIGA技术
3) LIGA technology
LIGA技术
1.
Being the key of LIGA /quasi-LIGA technology,microelectroforming process has wide applications in all kinds of MEMS fields.
微电铸是相对于常规电铸工艺而确立的新概念,它是适用于微小结构成型而建立的批量加工技术,既可以看作是在微细加工模具基础上的传统电铸技术的延伸,也可以认为是掩膜电镀在高深宽比方向发展的结果,微电铸工艺是LIGA/准LIGA技术的核心内容,在MEMS技术领域有广泛应用。
2.
Emphasis is given to indicate that LIGA technology as a typical lithography will play a very important role in the future development of micromold manufacture technology.
介绍了微型制件及微型模具成形特点 ,全面分析了各种微细加工方法的技术特点及其在微型模具制造中的应用状况 ,同时分析了各种微细加工技术的适用范围与发展前景 ,并重点阐述了以LIGA技术为代表的光加工技术在未来微型模具制造技术发展中的重要作
4) LIGA
LIGA技术
1.
Optimal process of micro-EDM based on LIGA technique;
基于LIGA技术的微细电火花加工优化研究
2.
ComPuter Aided Graphical Design of X Ray Mask in LIGA Fabrication of Micro gear;
LIGA技术制造微齿轮中X光掩模板图形的CAD设计
3.
An investigation on MEMS has developed with high speed in the last years,and foundation of MEMS is microfabrication technology In accordance with imperfection of LIGA,A new UV-LIGA is presented in the paper We have manufactured the equipment for lithography of UV-LIGA The design pionts,solved key unit techniques in research,the results of experimentation are reviewe
针对电铸 (LIGA)技术所存在的缺点提出了紫外光电铸(UV -LIGA)技术 ,并研制了用于UV -LIGA技术的光刻设备。
5) UV-LIGA
UV-LIGA技术
1.
Prime study of an electromagnetic microrelay fabricated by UV-LIGA technology;
UV-LIGA技术制造微型电磁继电器的初步研究
2.
The bi-layer micro gears have been fabricated by UV-LIGA technique using SU-8 photoresist.
利用SU-8光刻胶UV-LIGA技术制备了双层微齿轮,齿轮单层的厚度可达450μm。
3.
Process parameters of SU-8 photoresist based UV-LIGA technique were optimized.
对基于SU-8胶的UV-LIGA技术进行了工艺优化,研究了光源波长和曝光时间对SU-8胶成型的影响。
6) LIGA technique
LIGA技术
1.
The copper tool electrode with line width of 70μm and thickness of 730μm has been made by the LIGA technique and then the microstructure with line width 90μm and complex shapes on the stainless steel film has been machined by the micro-EDM technique.
通过LIGA技术与微细电火花技术相结合 ,可以在硬质合金、不锈钢等材料上加工出微结构 ,这一新的方法必将拓宽微细加工的能力和应用范围。
2.
A kind of microreactor for catalytic reaction has been developed by LIGA technique.
介绍了微反应器的基本原理 ,根据化学反应传质和传热的需求 ,对反应微管道的几何形状和尺寸进行了初步设计 ,并利用LIGA技术制作完成了一种用于催化反应的微反应器。
3.
The principle of LIGA techniques and the parameters o f LIGA experimental station at NSRL are introduced.
LIGA技术是一种可以利用多种材料获得大高宽比微结构的微细加工方法。
补充资料:长度计量技术:激光测长技术
利用激光单色性和方向性好的特性测量长度的长度计量技术。常用的方法有干涉法﹑扫描法﹑光强法和準直法等。
干涉法 利用光波干涉现象精密测长的方法。两束具有相同频率﹑相位和振动方向的光波S 1﹑S 2﹐经过不同的光程后在空间相交。当光程差等於波长整倍数时﹐波峰与波峰相遇叠加﹐光亮加强﹐出现亮的干涉条纹﹔当光程差等於半波长的奇倍数时﹐波峰与波谷相遇﹐光亮减弱﹐出现暗的干涉条纹。这种现象称为光波干涉现象(图1 光波干涉现象 )。利用干涉法测量位移的原理(图2a 干涉法测量 )是﹕从光源发出的光﹐经分光镜分为两路。一路透过分光镜射向可动反射镜1 ﹐另一路由分光镜反射到固定反射镜2﹐并分别从1和2反射回来﹐经过分光镜叠加在接受屏上。每当1移动1/2波长时﹐接受屏上的干涉条纹就会出现一次由暗到亮或者由亮到暗的变化。计算这些明暗变化次数就可以计算出1 的移动量。利用这一原理测量位移的光学系统称为迈克耳逊干涉系统。激光干涉仪就是用这个系统来测长的。
此外﹐干涉法还可用於平面度测量和微量变形测量。后者是通过全息照相实现的(图2b 干涉法测量 )。由激光器发出的光束经分光镜分为两路。一路经反射镜1反射后成为参考光束射向感光胶片﹐另一路经反射镜2反射后射向被测物﹐再由被测物反射后也射向感光胶片。此光束和参考光束在感光胶片上叠加后產生干涉图样。干涉图样的形状反映被测物反射光束与参考光束的相位差﹐从而反映被测物表面几何形状相互位置的关係。干涉图样的明暗对比程度反映被测物光的强弱(振幅的平方)。这样﹐被测物反射光波的全部信息就被记录下来。这种记录被测物光全部信息的胶片即称为全息照片。用激光照射全息照片﹐就能再现被测物光的立体图象。对被测物在不加载和加载变形条件下双重曝光全息照相后﹐可根据全息照片上的干涉图样计算出变形量﹐也可根据干涉条纹的异常变形分析出被测物的内部缺陷。
扫描法 利用激光方向性好这一特性形成的细光束扫描工件﹐测量工件的外径或厚度(图3 用扫描法测量工件的外径或厚度 )。激光器发出的光束经準直透镜和迴转的透明四面棱体週期性地扫描工件外径﹐当扫描至工件边缘时﹐即被遮住。此时光电转换元件发出信号﹐电子计数器开始计算与四面棱体同轴安装的圆光栅副发生的莫尔条纹数﹐直至激光束扫描至工件另一边缘﹐光电转换元件发出计数终止信号为止。所得莫尔条纹总数经过当量转换后即得到被测外径值。也可利用其他方法﹐例如由音叉谐振產生激光束扫描运动和利用计时脉衝作为计数频率等。
干涉法 利用光波干涉现象精密测长的方法。两束具有相同频率﹑相位和振动方向的光波S 1﹑S 2﹐经过不同的光程后在空间相交。当光程差等於波长整倍数时﹐波峰与波峰相遇叠加﹐光亮加强﹐出现亮的干涉条纹﹔当光程差等於半波长的奇倍数时﹐波峰与波谷相遇﹐光亮减弱﹐出现暗的干涉条纹。这种现象称为光波干涉现象(图1 光波干涉现象 )。利用干涉法测量位移的原理(图2a 干涉法测量 )是﹕从光源发出的光﹐经分光镜分为两路。一路透过分光镜射向可动反射镜1 ﹐另一路由分光镜反射到固定反射镜2﹐并分别从1和2反射回来﹐经过分光镜叠加在接受屏上。每当1移动1/2波长时﹐接受屏上的干涉条纹就会出现一次由暗到亮或者由亮到暗的变化。计算这些明暗变化次数就可以计算出1 的移动量。利用这一原理测量位移的光学系统称为迈克耳逊干涉系统。激光干涉仪就是用这个系统来测长的。
此外﹐干涉法还可用於平面度测量和微量变形测量。后者是通过全息照相实现的(图2b 干涉法测量 )。由激光器发出的光束经分光镜分为两路。一路经反射镜1反射后成为参考光束射向感光胶片﹐另一路经反射镜2反射后射向被测物﹐再由被测物反射后也射向感光胶片。此光束和参考光束在感光胶片上叠加后產生干涉图样。干涉图样的形状反映被测物反射光束与参考光束的相位差﹐从而反映被测物表面几何形状相互位置的关係。干涉图样的明暗对比程度反映被测物光的强弱(振幅的平方)。这样﹐被测物反射光波的全部信息就被记录下来。这种记录被测物光全部信息的胶片即称为全息照片。用激光照射全息照片﹐就能再现被测物光的立体图象。对被测物在不加载和加载变形条件下双重曝光全息照相后﹐可根据全息照片上的干涉图样计算出变形量﹐也可根据干涉条纹的异常变形分析出被测物的内部缺陷。
扫描法 利用激光方向性好这一特性形成的细光束扫描工件﹐测量工件的外径或厚度(图3 用扫描法测量工件的外径或厚度 )。激光器发出的光束经準直透镜和迴转的透明四面棱体週期性地扫描工件外径﹐当扫描至工件边缘时﹐即被遮住。此时光电转换元件发出信号﹐电子计数器开始计算与四面棱体同轴安装的圆光栅副发生的莫尔条纹数﹐直至激光束扫描至工件另一边缘﹐光电转换元件发出计数终止信号为止。所得莫尔条纹总数经过当量转换后即得到被测外径值。也可利用其他方法﹐例如由音叉谐振產生激光束扫描运动和利用计时脉衝作为计数频率等。
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参考词条