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1)  system [英]['sɪstəm]  [美]['sɪstəm]
相面对靶子溅镀系统
2)  ion beam sputtering system
离子束溅镀系统
3)  sputtering system
溅镀系统
4)  facing-target magnetron sputtering system
对靶磁控溅射系统
5)  facing-target magnetron sputtering
对向靶磁控溅射系统
6)  sputter-gun sputtering system
溅射枪溅镀系统
补充资料：相面
1.彼此见面;会见。
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参考词条