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1)  one to one projection system
一比一投影曝光装置
2)  projection stepper
步进式投影曝光装置
3)  projector [英][prə'dʒektə(r)]  [美][prə'dʒɛktɚ]
投影式对准曝光装置
4)  reduction aligner
收缩式投影曝光装置
5)  unity magnification projection unit
单位放大投影曝光装置
6)  wafer stepper projection system
薄片的步进式投影曝光装置
补充资料:封口装置——滚纹装置

封口装置——滚纹装置
 

 

 

 

 
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