1) electric etching
电蚀刻法
2) electrolytic-etching process
电解蚀刻法
3) freezeetching replication
冷冻蚀刻电镜法
4) electron beam lithography
电子束刻蚀法
1.
Fabrication of the micro/sub-micron Moire gratings using electron beam lithography method;
电子束刻蚀法制作微米/亚微米云纹光栅技术
5) wet etching
湿法刻蚀
1.
Research on K9 glass wet etching for MOEMS devices;
应用于MOEMS器件的K9玻璃湿法刻蚀工艺的研究
2.
Study on the deep wet etching of the silicon for MEMS;
MEMS中硅的深度湿法刻蚀研究
3.
Influence of wet etching on the morphologies of Si patterned substrates and ZnO epilayers
湿法刻蚀对Si基片孔点阵及ZnO外延薄膜周期形貌的影响
6) dry etching
干法刻蚀
1.
Effect of dry etching on light emission of InAsP/InP SMQWs;
干法刻蚀影响应变量子阱发光的机理研究
2.
Research of dry etching simulator in micromachining;
微加工干法刻蚀工艺模拟工具的研究现状
3.
Research of CCl_2F_2 plasma dry etching InSb-In thin film;
CCl_2F_2等离子体干法刻蚀InSb-In薄膜的研究
补充资料：厂用电受电
厂用电受电
energizing of auxiliary power system
chongyongd一on sho一Jd一on厂用电受电(energizing of auxiliary powersystem)机组附属设备安装完毕后需通电试运行，所需厂用电源由外部供给，因此厂用电受电是调试工作开始的标志。 受电步骤新建电厂先由电力系统向变电站供电，再依次对高压起动/备用变压器、3~10kv厂用配电装置、厂用工作变压器及380V配电装置供电。扩建电厂因高压起动/备用变压器已经投人运行，故可利用它的电源对扩建的厂用配电装置等供电。 调试项目主要有:①用额定电压依次对空载线路、变电站母线、隔离开关、断瘩器、互感器、变压器及厂用配电装置等进行冲击合闸试验。有条件时.冲击合闸前应先进行递升加压试验。升压过程中注意检查各设备有无放电声及短路现象，发现问题及时处理后再进行升压。②检查三相电压应平衡，相序应正确，各段母线的相位彼此应一致。对配电装置供电时，有时会由于母线电容和与母线连接的电磁式电压互感器的电感相互作用而出现铁磁谐振，此时相电压升高，中性点明显位移。为消除谐振可在电压互感器的剩余电压绕组处并联电阻以去振。
说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。
参考词条