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1)  aluminium nitride film
氮化铝膜
2)  AlN Thin Films
氮化铝薄膜
3)  AlN thin film
氮化铝薄膜
4)  AlN film
氮化铝薄膜
1.
Preferential orientation AlN films by RF reactive magnetron sputtering;
磁控反应溅射制备择优取向氮化铝薄膜
5)  AIN thin film
氮化铝薄膜
6)  preparation of AIN film
氮化铝薄膜制备
补充资料:氮化铝膜
分子式:
CAS号:

性质:用气相沉积、液相沉积、表面转化或其他表面技术制备的氮化铝覆盖层。氮化铝的电阻率高(1012Ω·cm),热膨胀系数低,硬度高,化学稳定性好,而且热导率也很高(3.2W·cm-1·K-1)。氮化铝在整个可见光和红外频段都具有很高的光学透射率。这些性能都使氮化铝膜在微电子和光电子器件、衬底材料、绝缘层材料、封装材料上有着广阔的应用前景。它可用作声表面波器件,此外,氮化铝还具有良好的耐磨损和耐腐蚀性能,可用作防护膜。

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