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1)  manganese oxide film
氧化锰薄膜
2)  manganite film
锰氧化物薄膜
3)  bilayer manganite thin film
双层锰氧化物薄膜
4)  Mn doped ZnO thin films
锰掺杂氧化锌薄膜
5)  rare earth manganites film
稀土锰氧化物薄膜
6)  Doped rare earth manganese oxide film
掺杂稀土锰氧化物薄膜
补充资料:一氧化硅薄膜介质材料
分子式:
CAS号:

性质:黑褐色无定型固体膜。介电常数5。比(电)容40~100pF/mm2,电容温度系数(40~400) ×10-6,介质损耗因数tgδ(1~4) ×10-2,击穿场强1×108V/m。与基片附着性能良好。采用真空蒸发法制取。用在混合集成电路中。用于制作薄膜电容器介质、薄膜电阻器和隔离层、光电池用增透膜。

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