1) Filtered cathodic vacuum arc source
磁过滤直流阴极真空弧源
2) FCVPD(filtered cathode vacuum arc deposition)
磁过滤阴极真空弧沉积
3) DC filtered cathodic vacuum arc
磁过滤真空阴极弧
5) FCVA
磁过滤阴极真空弧沉积系统(FCVA)
6) FVAPD
磁过滤阴极真空弧沉积(FVAPD)
补充资料:热阴极电离真空计(thermalcathodeionizationvacuumgauge)
热阴极电离真空计(thermalcathodeionizationvacuumgauge)
气体中的电子当它具有足够能量时,一旦与气体分子碰撞就会引起分子电离,产生正离子及电子。电子在一定的飞行路程中与分子的碰撞数正比于气体压强P,所以产生的正离子数也正比于压强P,这种利用离子电流的测量而获得真空数值的称为电离真空计。
为了实现以上的过程,需要有一个热阴极来发射电子,一个给电子以能量的加速并收集电子的加速极,以及一个收集离子的收集极。收集极与放大显示电路相连结就构成了真空计。
电离计的测量范围为10-3~10-7托,在上限处由于电子繁流使得离子流与压强的关系偏离线性的工作区,在下限处由于电子打到加速极产生了轫致辐射,此辐射又在收集极上产生光电子,此光电子的量值相当于在10-8托下的离子流,所以10-8托即成了测压的下限。
说明:补充资料仅用于学习参考,请勿用于其它任何用途。
参考词条